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真空用磁流体密封传动送片机构

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时间:2019-01-08 17:54:00

      本实用新型涉及真空镀膜设备,具体地说是一种用于真空镀膜设备上的传动装置。按照本实用新型所提供的设计方案,在支架上安装磁流体真空密封件,在磁流体真空密封件的下部安装连接板,以及一个导轨输送机构、一个导轨换向机构与直线运动机构,其特征是:在导轨换向机构中,大轴安装于磁流体真空密封件内,在连接板上利用轴承安装转动轴,在转动轴的上端安装棘轮与棘轮板,下端安装大齿轮,棘轮与棘爪配合,棘爪安装于棘轮板上,棘轮板与手柄连接,大齿轮与安装于大轴下端的齿轮啮合,大轴的上端与直线导轨连接。本装置可以提高设备的运行稳定性,并简化结构,缩小所占的空间。