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一种硅单晶炉磁流体密封装置

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时间:2019-02-15 12:02:49

       本实用新型涉及一种硅单晶炉磁流体密封装置,它包括磁性传动轴,非磁性壳体,永久磁铁,环形磁极,第一轴 承,第二轴承,螺母,端盖,环形槽和磁流体,其特征在于:第一轴承和第二轴承同轴布置在环形槽右侧,第一轴承与第二轴承之间设有外挡圈和内挡圈,外挡圈与 内挡圈同轴嵌套配磨,外挡圈的厚度大于内挡圈的厚度。本实用新型的有益效果在于:密封性能好;能有效消除轴承油脂对高单晶硅制成品品质的影响;传动系统可 承受的推力大,提高了传动系统的回转精度及可靠性;产品使用寿命长。